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1?范圍
GB/T 11446 的(de)本部分規定了電子級水(shui)的(de)級別、技(ji)術指標要求、試驗方法和檢測規則。
本部分適用(yong)于電(dian)子和半(ban)導體工業用(yong)高(gao)純清洗用(yong)水。

2?規范性引用文件
下列(lie)文件(jian)(jian)對于本文件(jian)(jian)的應用(yong)是(shi)必不可少的。凡是(shi)注日期(qi)的引用(yong)文件(jian)(jian)，僅注日期(qi)的版本適用(yong)于本文件(jian)(jian)。凡是(shi)不注日期(qi)的引用(yong)文件(jian)(jian)，其＊新版本（包括所(suo)有的修改單）適用(yong)于本文件(jian)(jian)。
GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則(ze)
GB/T 11446.4-2013 電(dian)子級水電(dian)阻率的測(ce)試方法
GB/T 11446.5-2013 電子(zi)級水中痕量(liang)金屬的原子(zi)吸收分光光度測試方(fang)法
GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化硅的分光(guang)(guang)光(guang)(guang)度測試方法(fa)
GB/T 11446.7-2013 電子(zi)級水中痕量(liang)陰離子(zi)的離子(zi)色譜測試方(fang)法
GB/T 11446.8-2013 電子(zi)級水中總有(you)機碳的測試(shi)方法
GB/T 11446.9-2013 電子(zi)級水(shui)中微粒的儀器測試(shi)方法
GB/T 11446.10-2013 電(dian)子級(ji)水細菌總數的濾膜培養測試方(fang)法

3?術語和定義
下列術語和(he)定(ding)義適(shi)用于(yu)本文件。

3.1?電子級水?electronic grade water
電子和半(ban)導(dao)體工(gong)藝過程中所用的(de)高純水。

3.2?電阻率?resistivity
在規定溫度(du)下(xia)，1cm3(正立方體)水溶液兩(liang)相對面(mian)之(zhi)間測得的(de)電(dian)阻值。通常用(yong)符號(hao)ρ表示，單位為(wei)歐姆厘(li)米（Ω·cm）,純水的(de)理(li)論(lun)電(dian)阻率為(wei)18.3MΩ·cm(25℃)。

3.3?全硅?total silicon
水中可溶性硅和以二氧(yang)化硅膠體狀態存在的硅的總量。

3.4?可溶性硅?soluble silicon
以單一分子狀態存在于水中的(de)溶解性(xing)硅(gui)酸鹽。

3.5?微粒性物質?granular matter
除(chu)氣體外，以非液體分散在水中，并形(xing)成(cheng)非均相混合物(wu)的物(wu)質。

3.6?總有機碳?total organic carbon；TOC
水中以(yi)各(ge)種有機物(wu)形(xing)式存在的碳的總量。包括易被(bei)一般強氧(yang)化(hua)(hua)劑氧(yang)化(hua)(hua)的有機物(wu)和(he)需用特殊(shu)方法氧(yang)化(hua)(hua)的有機物(wu)。

3.7?吸附?absorption
某些(xie)多孔性(xing)粒(li)狀物(wu)質由于表面(mian)活(huo)性(xing)作用(yong)而具有(you)吸著某些(xie)物(wu)質的現象。

3.8?凝聚?coagulation
在源(yuan)水中加入某種(zhong)(zhong)電(dian)(dian)解(jie)質后，水中帶有(you)電(dian)(dian)荷(he)的膠體微粒被(bei)電(dian)(dian)解(jie)質中的異種(zhong)(zhong)電(dian)(dian)荷(he)中和，從而(er)使其聚集成較大(da)顆(ke)粒而(er)沉降(jiang)的現(xian)象(xiang)。

3.9?絮凝?flocculation
水(shui)中的(de)微粒在一定條件下相互碰撞而(er)集結為絮狀沉淀(dian)的(de)現象。絮凝一般是(shi)再凝聚作用后緩慢進行，可除去水(shui)中更細的(de)微粒。

3.10?砂濾器?sand filter
用于盛(sheng)放不同直徑(jing)的砂粒(li)，以除去源水中懸浮固(gu)體(ti)和渾濁物的裝置。

3.11?活性碳過濾器?activated carbon filter
裝有粒狀活性(xing)(xing)碳的過濾器，用于除去水中的可溶(rong)性(xing)(xing)有機物和過量的殘余氯。
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3.12?離子交換?ion exchange
一種不溶性物(wu)(wu)質與一種液體之間相互交換離子的可逆過程(cheng)，該(gai)過程(cheng)中物(wu)(wu)質并無實質性結(jie)構變化。

3.13?離子交換樹脂?ion-exchange resin
一種合(he)成的(de)有機離子交換材料。

3.14?去離子水?deionized water
經(jing)過離子交換(huan)處理(li)，除去了呈離子形式的雜質的高純水(shui)

3.15?再生?regeneration
離子交換(huan)過程操作循環中的一部(bu)分。在(zai)該部(bu)分中，用一定量的化學試(shi)劑(ji)通過離子交換(huan)樹脂使其恢復交換(huan)能力。

3.16?復合床?complex bed
將陽離子(zi)交換(huan)樹(shu)脂和陰離子(zi)交換(huan)樹(shu)脂分別裝入兩個(ge)離子(zi)交換(huan)柱中，將兩柱串聯，使水依次通過兩個(ge)柱而被純化。

3.17?混合床?mixed bed
將陽(yang)離子(zi)交換樹脂(zhi)和陰離子(zi)交換樹脂(zhi)混合均勻，填充于(yu)同(tong)一(yi)離子(zi)交換柱中，其純化效果相當(dang)于(yu)許多復合床串聯使用。

3.18?電滲析?electrodialysis
一種分離(li)水中(zhong)(zhong)離(li)子(zi)的(de)方法(fa)。在(zai)電滲析器中(zhong)(zhong)，陰陽(yang)(yang)(yang)兩極(ji)之間用交替排列的(de)陰、陽(yang)(yang)(yang)離(li)子(zi)交換膜分割(ge)成一系列小室。水流通過小室時(shi)，在(zai)電流電場作用下(xia)，水中(zhong)(zhong)陽(yang)(yang)(yang)離(li)子(zi)向陰極(ji)方向移(yi)動(dong)，但不能通過陽(yang)(yang)(yang)膜；陰離(li)子(zi)則相(xiang)反。這樣就形成相(xiang)間存在(zai)的(de)濃、淡水室而達到提純(chun)水的(de)目的(de)。

3.19?逆向滲透?reverse osmosis
用半透膜(mo)將(jiang)濃水(shui)和淡水(shui)隔開(kai)，并在弄水(shui)上(shang)施(shi)加(jia)比滲透壓更強的機械壓力，則濃水(shui)中(zhong)大部分(fen)水(shui)透過(guo)半透膜(mo)而(er)雜質仍留在其中(zhong)，達到分(fen)離提(ti)純的目(mu)的。

3.20?反滲透膜?reverse osmosis membrane
用于反滲透法制(zhi)備純(chun)水的(de)一種(zhong)合成薄膜(mo)，其孔徑(jing)一般為(wei)0.02μm或更小，可用于除去無機離(li)子、有機物、細菌等，使水純(chun)化。

3.21?微孔膜濾器?membrane filter
一種平(ping)均孔(kong)徑（直徑）大于0.01μm的薄膜，能把大于平(ping)均孔(kong)徑的微(wei)粒截留在其(qi)表面或附近。

3.22?超過濾?ultrafiltration
一種過濾(lv)方(fang)法，在一定壓力下使水(shui)流(liu)過超濾(lv)膜以除去水(shui)中(zhong)的極細微粒、膠體和(he)細菌等(deng)。

3.23?終端?terminal
高純水生產流程中經(jing)過各道凈化工藝后，水的出口或使用(yong)地(di)點。

3.24?無菌?sterile
不(bu)含(han)任(ren)何活有機體（不(bu)論是活躍的或休眠的）。

3.25?PH
水(shui)溶液中氫離子活(huo)度的負(fu)對數或氫氧根離子活(huo)度倒數的負(fu)對數。

4?分類和標記

4.1?分類
電子級(ji)(ji)水分為四個級(ji)(ji)別：Ⅰ級(ji)(ji)、Ⅱ級(ji)(ji)、Ⅲ級(ji)(ji)、Ⅳ級(ji)(ji)。

4.2?標記
Ⅰ級電(dian)子級水標(biao)記為：EW-Ⅰ。
Ⅱ級電子級水(shui)標記(ji)為：EW-Ⅱ。
Ⅲ級電子級水標記為(wei)：EW-Ⅲ。
Ⅳ級電(dian)子級水標記為(wei)：EW-Ⅳ。

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5?要求
電子級(ji)水(shui)的技術指(zhi)標應符(fu)合表1規定。
表1 電(dian)子級水(shui)的技術指標

6?試驗方法

6.1?電阻率
電(dian)子(zi)級(ji)水(shui)的電(dian)阻率按GB/T 11446.4-013進(jin)行測定。

6.2?全硅含量（以二氧化硅計）
電(dian)子級水全硅（以二氧化(hua)硅計）含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。

6.3?微粒數
電子級水中微粒(li)數按GB/T 11446.9-2013進行測定。

6.4?細菌總數
電子級水中細菌總(zong)數按GB/T 11446.10-2013進(jin)行測定。

6.5?痕量金屬含量
電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。
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6.6?氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
電子(zi)(zi)級水中氟離(li)(li)子(zi)(zi)、氯離(li)(li)子(zi)(zi)、亞(ya)硝(xiao)酸(suan)根(gen)(gen)離(li)(li)子(zi)(zi)、溴離(li)(li)子(zi)(zi)、硝(xiao)酸(suan)根(gen)(gen)離(li)(li)子(zi)(zi)、磷酸(suan)根(gen)(gen)離(li)(li)子(zi)(zi)、硫(liu)酸(suan)根(gen)(gen)離(li)(li)子(zi)(zi)的含量(liang)按GB/T 11446.7-2013進行測定。

6.7?總有機碳含量
電子級(ji)水中總(zong)有機(ji)碳(tan)含量按(an)GB/T 11446.8-2013進行測定。

7?檢驗規則

7.1檢驗部門
電子(zi)級水的檢驗均應在有資質(zhi)的檢驗部門進行。

7.2?檢驗分類
電子級水的(de)檢驗(yan)分為交收檢驗(yan)和例行檢驗(yan)。

7.3交收檢驗
7.3.1?抽驗項目
電(dian)子級水中電(dian)阻率、鈉離子、全硅（以(yi)二氧化(hua)硅計(ji)）為交收檢驗項目。

7.3.2?合格判據
在用(yong)水終(zhong)端(duan)采樣，檢(jian)驗(yan)后(hou)檢(jian)驗(yan)結果(guo)如有一項(xiang)或一項(xiang)以上(shang)不合格(ge)(ge)時(shi)，應再(zai)次采樣經行檢(jian)驗(yan)，如仍不合格(ge)(ge)，則該批不合格(ge)(ge)，應提出改進措施直到水質(zhi)合格(ge)(ge)。

7.4?例行檢驗（全檢項目）

7.4.1?檢驗項目
檢(jian)驗項目(mu)為表1規定的(de)全(quan)部項目(mu)。檢(jian)驗順序應(ying)以不影響后(hou)序實驗結果的(de)原(yuan)則進行檢(jian)驗。

7.4.2?不合格判定
在用水終端采樣后進行(xing)例(li)行(xing)檢驗(yan)(yan)，檢驗(yan)(yan)結果(guo)如有(you)不(bu)合格(ge)(ge)項時，應再次采樣進行(xing)檢驗(yan)(yan)，如仍有(you)不(bu)合格(ge)(ge)項時，應提出改進措(cuo)施直(zhi)到水質(zhi)合格(ge)(ge)。

7.4.3?檢驗頻次
例(li)(li)行(xing)(xing)檢驗(yan)(yan)至少每年進(jin)行(xing)(xing)一(yi)次，當制水條件(jian)發生變更時也應(ying)進(jin)行(xing)(xing)例(li)(li)行(xing)(xing)檢驗(yan)(yan)。

8?采樣、貯存、運輸及標志

8.1采樣、貯存、運輸
電子級水的(de)采樣、貯存(cun)、運輸應(ying)符合GB/T 11446.3-2013的(de)規定。

8.2?標志
在用(yong)水終端(duan)采樣進行檢驗(yan)時，水質合(he)格后應附有檢驗(yan)合(he)格證(zheng)(zheng)，合(he)格證(zheng)(zheng)應包含如下內容：

1. 名稱及級別；

2. 各項技術指標；

3. 制水單位；

4. 供水日期；

5. 檢驗員簽章及檢驗日期。